در سال‌هاي اخير مطالعات گسترده‌اي در زمينه سيستم‌هاي ميكروالكترومكانيكي و كاربردهاي آن‌ها در حوزه‌هاي گوناگون صورت گرفته است. اما طراحي و ساخت ميكروعملگري با نيرو و جابجايي زياد، همواره يكي از مشكلات در اين زمينه بوده است. در اين طرح يك ميكروعملگر با استفاده از مواد هوشمند و از جنس آلياژ حافظه‌دار طراحي، بهينه‌سازي و ساخته شده است. بهينه‌سازي بر روي پارامترهاي هندسي و با در نظر گرفتن انرژي مخصوص به عنوان پاسخ مطلوب به روش آناليز واريانس براي نخستين بار در دنيا صورت گرفته است. پس از مشخص شدن طرح بهينه، آلياژ حافظه‌دار از جنس نايتينول و به شكل صفحه ساخته شده و به كمك فرايندهاي الكتروپوليش و اچ شيميايي به لايه‌نازك با ضخامت 100 ميكرومتر تبديل شده است. ساخت لايه‌نازك حافظه‌دار راه را براي استفاده از اين ماده هوشمند در صنايع مرتبط مانند بيوفيزيك، زيست‌شناسي و هوافضا تسهيل مي‌كند. در ادامه ساخت ميكروعملگر با بهره‌گيري از لايه‌نازك حافظه‌دار و با استفاده از فرايند برش ليزر براي نخستين بار در كشور صورت گرفته است. در نهايت سيستمي براي اندازه‌گيري ميزان جابجايي و بررسي رفتار ميكروعملگر با قابليت اندازه‌گيري همزمان طراحي و ساخته شده و آزمايش‌هاي لازم براي اين كار به كمك اين سيستم صورت گرفته است.